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ZnO材料是一种宽带隙、透明的氧化物半导体材料，当ZnO中掺入Mg形成ZnMgO具有更加优越的性能。可以作为紫外激光和紫外光探测器材料。
本文首先介绍了ZnMgO材料的性质，研究意义以及国内外研究现状。其次采用采用磁控溅射设备制备了ZnMgO薄膜，并研究了溅射功率和气体分压对ZnMgO薄膜结构和光学等特性的影响。
最后，给出了实验结论


关键词： ZnMgO薄膜，磁控溅射，结构，光学