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膜厚計測システム

分光エリプソメータ
多層膜の膜厚・膜質管理、光学定数(n：屈折率、k：消衰係数)の解析に最適
膜厚レンジ 0.1nm～1000nm
測定波長範囲 250nm～1100nm

卓上型分光エリプソメータ
自動角度可変測定、全角度同時解析を実現
膜厚レンジ 0.1nm～1000nm
測定波長範囲 300nm～800nm

反射分光膜厚計
薄膜から厚膜まで幅広い測定レンジ対応可能であり、多層膜解析、微小スポット測定などにより、多種多様な膜種へのアプローチを実現
膜厚レンジ 1nm～250μm
測定波長範囲 190nm～1600nm

膜厚測定システム
MCPD seriesオプティカルファイバによる自由な光学系の構築が可能であり、インプロセスにも対応可能
膜厚レンジ 800ｎm～250μm
測定波長範囲 220nm～1600nm

各種膜厚計測システム一覧
http://www.photal.co.jp/product/sol_makuatsu_0.html#hyoujyun



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